半導體檢測的測試系統(tǒng)稱為ATE，由電子電路和機械硬件組成，是由同一個主控制器指揮下的電源、計量儀器、信號發(fā)生器、模式的合體，用于模仿被測器件將會在應(yīng)用中體驗到的操作條件，以發(fā)現(xiàn)不合格的產(chǎn)品。

測試系統(tǒng)硬件由運行一組指令(測試程序)的計算機控制，在半導體檢測時提供合適的電壓、電流、時序和功能狀態(tài)給DU測試的結(jié)果和預先設(shè)定的界限，做出相應(yīng)的判斷。

半導體檢測的測試程序的目的是控制測試系統(tǒng)硬件以相應(yīng)的方式保障被測器件達到或超過它的那些被具體定義在器件規(guī)格書里的程序通常分為幾個部分，如DC測試、功能測試、AC測試等。DC測試驗證電壓及電流參數(shù);功能測試驗證芯片內(nèi)AC測試，以保障芯片能在特定的時間約束內(nèi)完成邏輯操作。